




特種氣體系統(tǒng):
主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短,拐彎少,特種氣體廠商,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定,基本都采用小管徑輸送(1/4-3/4)而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險(xiǎn)性,許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里,對(duì)于穿墻或穿過夾道的地方,特種氣體要多少錢,周圍有危險(xiǎn)源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方,露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。


特種氣體管道的施工
特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接,同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序,對(duì)施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。
預(yù)制間的選擇
特種氣體管道的施工對(duì)環(huán)境的要求比較高,管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn),預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級(jí)的凈化間進(jìn)行,作業(yè)人員也按照百級(jí)凈化間的管理著裝。因此對(duì)于特氣項(xiàng)目,一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。


特種氣體存放
針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜內(nèi),再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥門箱,泉州特種氣體,而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn),特種氣體生產(chǎn)廠,于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前,會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機(jī),以質(zhì)流流量計(jì)控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制,通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇,而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進(jìn)行供應(yīng)。


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